Mo-Re合金薄膜的辐照效应研究

摘要：

使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)测出.利用白光干涉表面形貌仪,测量了辐照区的溅射刻蚀深度和表面粗糙度,评价了合金成分对薄膜辐照行为的影响.结果表明:适量Re的加入能够显著提高合金薄膜的抗溅射能力.

关键词：Mo-Re合金、Re效应、辐照损伤、溅射深度

所属期刊栏目：41

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2008-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：422-425