弹性反冲探测技术在材料分析中的应用

摘要：

利用HI-13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析.用△E-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30 nm.用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力.

关键词：弹性反冲探测、E-E望远镜探测器、深度分辨

所属期刊栏目：38

分类号：O484.5;O564.33(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19775067;IAEA资助国际合作项目CPR11314

在线出版日期：2004-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：107-110,119