离子溅射对氚钛靶寿命的影响

摘要：

应用TRIM 程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额.结果显示,O+、N+、C+和D+2等在氚钛靶上的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素.为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响,束流入射角应小于45°.

关键词：离子溅射、氚钛靶、寿命

所属期刊栏目：37

分类号：TL51(加速器)

资助基金：甘肃省自然科学基金ZS001-A25-005-Z;国家经贸委高技术开发资助项目96BK-474

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27