10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.020
自截止腐蚀制备Si平面薄膜中的B杂质分析
以重掺杂自截止腐蚀工艺制备的厚度为3~4 μm的自支撑Si平面薄膜已在X光激光和惯性约束聚变分解实验中得到应用.制备过程中,重掺杂B杂质的引入会对获得的Si平面薄膜的应用带来影响.本工作研究采用次级离子质谱(SIMS)测量Si平面薄膜中B杂质的浓度分布,结合在软X光波段下同步辐射直接测得的Si薄膜的透过率结果,分析B等杂质对Si平面薄膜性能的影响.
Si平面薄膜、重掺杂、自截止腐蚀、杂质分布
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O472(半导体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划863-416-3-6.6,863-416-3.4.7
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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