10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.012
具有高激光损伤阈值的光栅分光薄膜
为惯性约束聚变(ICF)实验中利用光栅分光特性间接探测激光功率研究,制备具有高激光损伤阈值的光栅分光ZrO2薄膜.采用水热法制备纳米ZrO2溶胶,在80~100 ℃下,以20 m/min速度涂敷制备出厚1~2 μm、折射率为1.57~1.70、表面粗糙度2.3 nm、激光损伤阈值为25~30 J/cm2(1 ns,1.06 μm)的ZrO2薄膜.采用Ar+激光器双光束干涉曝光技术制备光栅掩膜板,光栅周期为1~2 μm,深度70~100 nm.通过电镀工艺将光栅结构转移至镍板上,经连续模压,最终制备出光栅分光ZrO2薄膜.分析了光栅周期、模压深度及薄膜折射率等因素对光栅一级衍射效率的影响.制备出的光栅分光ZrO2薄膜有望用于高功率激光测量.
激光损伤阈值、光栅、ZrO2薄膜
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O484(固体物理学)
国家自然科学基金59802007,69978017;上海市青年科技启明星计划99QE14041
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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