85 MeV 19F离子辐照α-Al2O3热退火产生的空洞研究

摘要：

采用正电子湮没寿命技术研究了注量为5.28×1016cm-2的85MeV19F离子辐照后α-Al2O3热退火产生的空洞。实验结果表明：辐照后的α-Al2O3经450℃退火开始出现空洞；550～750℃时，空洞半径达到0.37nm，且其大小不变而浓度则随温度迅速增加；高于800℃，退火温度升高，空洞增大；1050℃退火，形成了半径为1.02nm的空洞。

关键词：α-Al2O3、85 MeV19F离子、热退火、空洞、正电子湮没寿命

所属期刊栏目：35

分类号：O472(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19835050;核工业科学基金H7196BO116

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：363-366