钛薄膜氢化及热释放特性研究

摘要：

用高能离子非卢瑟福背散射分析和前向反冲分析方法研究了C、O污染对Ti膜的吸放氢能力的影响.实验观测到,1.26×1016 cm-2C和2.6×1016 cm-2O的双重污染可使Ti膜在300 nm的范围内存在着低的H浓度区,使氢的热释放温度大大提高.表面镀Ni可显著增强Ti膜的吸放氢能力,使H在Ti膜中均匀地饱和分布,同时,将H的热释放温度降到了热力学分解温度附近.

关键词：钛膜氢化、热释放、离子束分析

所属期刊栏目：34

分类号：TQ122.3;O484.4

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：328-333