10.3969/j.issn.1000-6931.2000.02.004
纵向型双电离室ΔE-E探测器系统及其在ERD分析中的应用
设计加工了一套纵向型双电离室ΔE-E(气体-固体)探测器系统,由于采用了双电离室及电场均匀技术,得到较好的能量分辨率:利用50.3 MeV的12C在束测量,ΔE分辨率达3.3 %,Er分辨率达1.5 %.利用该系统对新型半导体材料GaAs、新型光电材料GaN等进行ERD分析,得到了材料的元素深度分布谱(分辨达50 nm);在该系统和Q3D磁谱仪配合测量中,得到深度分辨达1 nm的深度分布谱.
纵向型、双电离室、ΔE-E探测器、ERD分析
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TL811(粒子探测技术、辐射探测技术与核仪器仪表)
中国科学院资助项目19775067;核工业科学基金7196A0113
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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