Ta含量对Mo靶材组织及抗高温氧化性能的影响

摘要：

本实验通过放电等离子烧结工艺(SPS)制备Mo-xTa(x=0％,2％,4％,6％,8％,质量分数,下同)靶材,研究其在静态空气下的高温氧化行为.结果表明:Mo-xTa(x=0％,2％,4％,6％,8％)靶材的相对密度均超过了 98％,无明显孔隙.随着Ta含量的增加,晶粒尺寸降低,维氏硬度增大.经500℃氧化60 min后,Mo-Ta靶材表面形成MoO2、MoO3和Ta2O5的混合氧化层.Ta含量越高,氧化层中MoO3和Ta2O5的占比越大.Mo-xTa(x=0％,2％,4％,6％,8％)靶材的氧化增量随着Ta含量的增加,先降低后升高,这表明合理的Ta含量有利于提高Mo靶材的抗氧化性能.与纯Mo相比,Mo-xTa(x=2％,4％)靶材表面形成了均匀细密的氧化物层,能够抑制O原子向基体内部扩散.然而,Mo-xTa(x=6％,8％)靶材的氧化膜存在大量孔隙,孔隙为O原子提供给了快速扩散的途径,导致氧化加剧.

关键词：SPS、Mo-Ta、靶材、高温氧化、性能

所属期刊栏目：39

分类号：TG146.4+1;TB333;TQ153

资助基金：国家重点研发计划2018YFC1901700

在线出版日期：2022-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：246-252