单晶硅长晶炉用钨钼制品的质量控制

摘要：

单晶硅长晶炉一般采用石墨材料作为容器、隔热屏和加热器,但是石墨材料容易产生挥发性杂质,影响单晶硅的纯度要求,另外石墨碎裂、脱落也会引起热场损坏.因此,有必要采用光亮钼片制作的导流筒和保温盖封闭石墨材料,同时光亮钼片的热辐射作用也增强了长晶炉上部的温度梯度,有利于加快长晶速度.在大直径单晶硅的发展趋势下,钨丝绳由于其更高的强度而代替了钢丝绳,但是钨在常温下是脆性材料,因此在使用过程中要注意防止硬物撞击受伤失效.钼重锤起到连接籽晶夹和钨丝绳的作用,钼重锤比钢重锤具有更高的强度,同时也不会给单晶硅晶体带去杂质污染.为了保证钨丝绳与钼重锤在长晶过程中始终保持在同一轴线,可以采用半球型重锤本体,钨丝绳的球形柱头与重锤形成面面接触配合,实时自动找心,有效降低了由于重心轴线偏移而产生晶体晃动的风险,大幅提升单晶硅棒的品质.

关键词：单晶硅;长晶炉;钨;钼

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在线出版日期：2022-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：63-68