氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响

摘要：

在现有MT-TiCN涂层的CVD制备气氛体系中,通过掺入不同比例的CO气体对MT-TiCN涂层进行氧掺杂处理.采用SEM、EDX、XRD、纳米压痕仪等分析涂层的形貌结构、沉积速率、粒径及成分组成、取向织构、纳米硬度等;采用切削实验测试涂层硬质合金刀片的切削性能,综合分析氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响.结果 表明:涂层中的氧含量随CO掺入比例的提高而增加;氧掺杂导致了涂层细晶纤维状结构的形成,且晶粒尺寸随氧含量的增加而减小;CO掺入比例提高对涂层的沉积速率没有影响;涂层均表现出(422)择优生长取向,但氧掺杂促进了涂层向最密排晶面(111)生长,使涂层的硬度增加;单层氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片的抗磨粒磨损性能降低,但在磨损形式以正常粘附磨损为主的高速切削中,具有超细晶结构及高硬度的氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片及其复合了Al2O3涂层的多层涂层切削刀片均体现出了较好的耐磨性能.

关键词：TiCN涂层、化学气相沉积、氧掺杂、切削刀具

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在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：99-105