化学气相沉积法制备难熔金属的研究现状与前景

摘要：

难熔金属材料以其熔点高、高温性能好和耐腐蚀性优异等特点被广泛应用于航空航天、化学化工和国防军工等领域.化学气相沉积法是目前获得高纯致密、尺寸精确的难熔金属制品的最佳手段.本文介绍了钨、钼、钽、铌和铼五种难熔金属元素的应用领域,综述了采用不同的化学气相沉积法制备难熔金属及其合金的工艺、制品性能和具体用途,总结了金属源先驱体类型对化学气相沉积工艺的影响,分析展望了化学气相沉积法在制备难熔金属上的应用前景.

关键词：难熔金属、化学气相沉积、钨、铼

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资助基金：国家自然科学基金青年基金项目51501224;国家自然科学基金面上项目51371196

在线出版日期：2019-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：381-389