高质量硬质合金EBSD样品的机械制样方法

摘要：

EBSD技术在硬质合金及其涂层材料研究领域内的应用日益广泛,如何制备高质量的硬质合金EBSD样品是EBSD技术应用的关键.本文采用常规金相设备和振动抛光仪,解决了不同晶粒和结构的硬质合金EBSD样品的制备,并提出了系统的制样方法.机械研磨/抛光、振动抛光的参数选择和样品清洗彻底与否是该方法的关键因素.研磨采用金刚石磨盘70～20 μm逐级研磨,以消除划痕;抛光选择由硬性至高弹软性抛光布配合金刚石抛光剂9～1 μm逐级抛光;振动抛光应用高弹性抛光布配碱性硅溶胶抛光液15～30 min;彻底清洗样品,直至露出样品表面真实表面.同时为解决样品漂移问题,改进并设计了硬质合金EBSD镶样专用样品台.运用该方法制备了超细晶、细晶、大/小尺寸混合晶和粗晶等4种不同WC晶粒尺寸等级的硬质合金EBSD样品,并进行了相关实验及晶粒取向表征,结果充分证明本文提出的制样方法具有适用WC晶粒等级范围广,EBSD结果质量高的特点.

关键词：WC/Co硬质合金、机械制样方法、清洁、振动抛光、高质量EBSD结果

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资助基金：“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项 2013ZX04009031.

在线出版日期：2014-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：257-264