Si、Cr的加入对TiAIN涂层抗氧化性能的影响

摘要：

比较了阴极电弧蒸发工艺制备的Ti0.45Al0.55N、Ti0.35Al0.55Si01N和Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层在850℃和900℃的抗氧化性能.通过X射线衍射仪(XRD)、高分辨率扫描电镜(HRSEM)和能谱仪(EDS),研究Si、Cr对Ti0.45Al0.55N涂层抗氧化性能的影响.结果表明:Si和Cr的加入均能有效提高Ti0.45Al0.55N涂层的抗氧化性能,细化涂层晶粒,促进Al向涂层表面扩散形成致密的Al2O3氧化层,抑制锐钛矿型TiO2向金红石型TiO2转变,提高TiAlSiN涂层和TiAlCrN涂层的抗氧化性能.另外,TiAlCrN涂层中CrO3的形成进一步提高了其抗氧化性能.

关键词：TiAlN、TiAlSiN、TiAlCrN、涂层、抗氧化性能

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资助基金：国家自然科学基金资助项目51171097,美国A公司资助项目.

在线出版日期：2014-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：155-160