MPCVD法合成大单晶金刚石的研究进展

摘要：

单晶金刚石具有诸多多晶金刚石所无法替代的优良性能,是新世纪高端技术领域发展所需的重要材料.随着技术的不断改进,MPCVD法合成单晶金刚石的生长速率、质量和尺寸都有了很大的提高.目前,应用最新的MPCVD技术合成的单晶金刚石,其最高生长速率达到200 μm/h,合成尺寸达到英寸级,为单晶金刚石在超精密加工、光学元器件、半导体、探测器等高技术领域的应用提供了有力的支撑.本文主要综述了进入二十一世纪以来,MPCVD单晶金刚石的研究进展,并对其应用作简单的介绍.

关键词：MPCVD、金刚石、单晶、lift-off、马赛克

所属期刊栏目：30

在线出版日期：2013-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：288-296