单晶金刚石制备研究进展

摘要：

相对于多晶金刚石,单晶金刚石具有质量好和纯度高等优点,并且不存在多晶金刚石中的不规则晶界,因此在半导体和机械等行业具有广泛的应用.本文简要介绍了单晶金刚石的制备方法和主要应用领域,并对国内外采用高温高压法和化学气相沉积法制备单晶金刚石的研究成果和最新研究进展进行了综合评述.与高温高压法相比,化学气相沉积法可以高速合成大面积、高质量的单晶金刚石,因此是人工合成单晶金刚石的研究热点.单晶金刚石主要用作切削刀具、光学材料、半导体及电子器件和首饰等.随着大单晶金刚石合成技术的进一步发展,金刚石的应用范圈和市场将会更加宽广.

关键词：单晶金刚石、化学气相沉积、高温高压、制备方法

所属期刊栏目：29

分类号：TQ1;TG1

资助基金：国家自然科学基金项目11175137;湖北省教育厅科学技术研究项目Q20121501;武汉工程大学科学研究项目11111051

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：182-189