硬质合金刀具ZrC涂层的沉积

摘要：

采用原位卤化反应直接形成的ZrCl4气体作为Zr源,在硬质合金刀具上沉积CVD-ZrC涂层.用SEM,XRD分析检测了合金刀具基底不同表面上沉积生长ZrC涂层的厚度均匀性、沉积速率、形貌组织、织构取向；通过理论计算与工艺实际的涂层沉积转化率对比,定量表征了该沉积体系工艺参数下ZrC涂层的沉积转化率.结果显示,CVD涂层炉内不同位置合金刀片表面沉积的ZrC涂层均匀；由于工艺温度限制,涂层沉积速率较低；ZrCl4转化为ZrC涂层的工艺实际转化率约11％,在理论最大转化率14％范围内；相同温度下随着沉积压力升高,涂层的沉积转化率缓慢降低到10％并趋于稳定；直接在合金基底沉积形成的ZrC涂层为细小的颗粒状形貌,而在合金基底TiN涂层表面上沉积生长的ZrC具有典型的片状组织形貌；对应的涂层生长织构取向从(311)到(111)转变.

关键词：ZrC、硬质合金、原位、卤化反应、沉积速率、转化率、织构取向

所属期刊栏目：29

分类号：TG1;V23

在线出版日期：2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：123-130