MPCVD制备大颗粒金刚石形貌的研究

摘要：

利用自制5 kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,沉积得到了晶粒尺寸达到500μm的大颗粒金刚石.采用抛光后的硅作为基底,CH4和H2为气源,分别研究了基片边缘与中心区域沉积的大颗粒金刚石的表面形貌.通过SEM表征了金刚石的表面形貌.发现基片边缘由于产生放电现象加速了金刚石的沉积,而晶粒之间相互挤压导致了孪晶的产生,影响其生长质量.相反由于中心区域形核密度低,使得晶粒在优先生长的模型下抑制了小晶粒的生长,从而提供更多的能量促进大晶粒的生长,在本实验条件下(100)晶面得到了长大,并获得了表面平整、晶体形貌良好的大颗粒金刚石.最后介绍了国内外合成大颗粒金刚石的研究进展,并对其研究方向做出了展望.

关键词：大颗粒、微波等离子体、化学气相沉积、表面形貌

所属期刊栏目：29

分类号：TG1;TF1

资助基金：湖北省自然科学基金11104211

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：72-79