氧的掺入对化学气相沉积TiCN涂层的影响

摘要：

本文采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨扫描电镜(HRSEM)、显微维氏硬度计、声发射划痕仪,研究了以化学气相沉积(CVD)法制备的TiCN和TiCNO涂层.通过对比涂层的相结构、组织形貌、硬度及结合强度,分析氧的掺人对TiCN涂层显微结构和力学性能,特别是结合强度的影响.结果表明:CVD制备的TiC0.81N0.48涂层截面呈柱状结构,硬度和结合强度分别为2 063 HV及127 N.掺入氧后的TiC0.61Na0.44O0.15和TiC0.52N0.25O0.1涂层没有出现新的物相,为面心立方结构的TiCNO固溶体,具有(111)织构；氧的掺入细化了晶粒,使涂层转变为致密结构；其硬度分别提高至2 207 HV和2 753 HV,但与基体结合强度分别下降至88 N和63 N.

关键词：TiCN、TiCNO、涂层、显微结构、硬度、结合强度

所属期刊栏目：29

分类号：TQ1;TG1

资助基金：国家自然科学基金资助项目51171097;美国Kennametal公司资助

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：66-71