薄膜表面和界面应力的X射线衍射分析(中)

摘要：

薄膜表面和界面应力的测量是近年来的热点课题,原则上,薄膜与体材的应力分析方法并无差别,可以通过X射线衍射进行测量.本文以有关薄膜和表面区X射线应力分析的专题评述为蓝本,解读有关依赖于试样和测量条件的分析方法和测量策略.为此,将推荐若干实用的测试方法:对于无织构和宏观弹性各向同性薄膜试样,可采用掠入射多衍射线的薄膜应力分析方法,在这种情况下,当用小入射角时,常规的sin2Ψ法可以使用;对于(hhh)和(h00)的应变测量,具有准各向同性的优点,可以直接采用sin2Ψ法;对于有织构试样,材料呈宏观弹性各向异性,可采用晶体群方法.这些方法对于薄膜、多层膜、硬质涂层或体材近表面区的应力分析,具有十分重要的理论价值和使用意义,也可用于新型电子薄膜材料等的应力分析,为其性能改善和控制提供理论依据.

关键词：薄膜、表面、界面、X-射线应力分析

所属期刊栏目：28

分类号：TB3;TG1

在线出版日期：2011-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：186-193