10.3969/j.issn.1003-7292.2008.04.013
硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究
采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数.
类金刚石薄膜、射频辉光等离子体、硬度、硬质合金
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TB3;O48
国家自然科学基金50572075;湖北省教育厅2004年创新团队项目;湖北省教育厅Q20081505项目
2009-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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257-260