10.3969/j.issn.1003-7292.2008.03.013
CVD金刚石膜的抛光研究进展
化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙,需要经过抛光才能实现其具体的工业应用.本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展,分析了各种技术的优缺点,并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望.
CVD、金刚石膜、抛光
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O63;S88
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目2004419
2008-11-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
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