甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响

摘要：

采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征.结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产.

关键词：金刚石涂层、硬质合金刀片、微波等离子体化学气相沉积、甲烷浓度

所属期刊栏目：25

分类号：O48;TG7

资助基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目2004;湖北省教育厅Q20081505项目.武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室2008年度开放基金RGCT200801

在线出版日期：2008-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：154-157