铁刻蚀CVD金刚石膜辅助机械抛光

摘要：

采用直流溅射方法在化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面镀上一层铁薄膜,在氢等离子体条件下利用铁对金刚石膜的快速刻蚀实现初抛光,然后再进行机械抛光,提高抛光效率.

关键词：CVD、金刚石膜、微波等离子体、刻蚀、抛光

所属期刊栏目：24

分类号：TG1(金属学与热处理)

资助基金：湖北省科技攻关项目2002AA105A02;湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：207-210