金刚石膜成分、微结构和力学性能的表征

摘要：

简要综述目前用于表征金刚石膜成分、微结构和力学性能的常用方法,并提出了金刚石膜产品发展的新设想.

关键词：金刚石膜、微结构、成分、力学性能、表征

所属期刊栏目：18

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：广东省博士启动基金990038;广东省高教厅科研项目9900 46

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：221-224