气垫导轨上空气膜厚度的测定

摘要：

针对气垫导轨装置的重要参数--气垫厚度进行测定分析,利用光杠杆系统测量微小长度变化的方法,测量滑块和气垫导轨之间的空气膜厚度,并对可能产生的测量误差进行分析、讨论;测量结果显示:在通常情况下其厚度大致在150um左右,与相关的技术指标相符.

关键词：气垫导轨、光杠杆测量系统、空气膜、厚度、测量误差

所属期刊栏目：25

分类号：O4-33

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-67