拟弧长延拓法在静电激励MEMS吸合特性研究中的应用

摘要：

在静电激励微机电系统MEMS(micro-electro-mechanical systems)吸合特性研究中,基于应变梯度理论的微梁结构的控制方程是非线性高阶微分方程,给方程的求解带来了困难.由于该问题的数学模型本质上是分叉问题,方程的解支上出现奇异点,而运用局部延拓法无法通过奇异点.因此,通过运用广义微分求积法将控制方程降阶离散,结合拟弧长延拓法使迭代顺利通过奇异点,求出了整个解曲线.结果表明,拟弧长延拓法能有效并准确地求解具有分叉现象的高阶微分方程问题,为精确预测静电激励MEMS的吸合电压提供有力帮助.

关键词：MEMS、吸合特性、奇异点、拟弧长延拓法

所属期刊栏目：36

分类号：O302

资助基金：The National Natural Science Foundation of China 11202117;11272186国家自然基金11202117;11272186;山东省自然基金ZR2012AM014;BS2012ZZ006

在线出版日期：2015-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：386-392