用于挥发性气体检测的声表面波器件的环境特性研究

摘要：

声表面波在气敏应用中具有快速、高灵敏、微型、轻质的独特优势,因而在单兵防化、公共安全及工业流程监控等领域极具应用前景.中国科学院声学研究所王文团队与军事科学院防化研究院潘勇团队在长期声表面波气敏机理与器件优化研究的基础上,为推进声表面波气敏技术的实用化进程,持续开展了声表面波气敏器件及系统环境适应性的研究.

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在线出版日期：2020-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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