10.11684/j.issn.1000-310X.2018.01.015
MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展
基于微电子机械系统制造技术的MEMS 压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点.对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为?192 dB(ref. 1 V/μPa),基本达到实用化的要求.MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为?229.5 dB(ref. 1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB,但还未达到实用化要求.为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度.
微电子机械系统、水听器、ZnO薄膜、灵敏度
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TN384(半导体技术)
国家自然科学基金项目11074274, 11174319, 11474304
2018-02-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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