宽温度范围SAW应变传感器温度与应变解耦研究

摘要：

针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题,提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器.理论上,结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度的关系公式,进而推导出应变与温度关于这两组谐振器频率变化的表达式.实验上,搭建宽温度范围的实验平台,在Y+34°切向的石英基片上制作该传感器芯片,测得传感器芯片在30 ℃～180 ℃下的频率响应,将测得的谐振器频率代入表达式计算得到温度与应变值,与实验中参考温度与应变的值基本吻合.

关键词：声表面波、应变传感器、宽温度范围

所属期刊栏目：37

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院重点部署项目KFZD-SW-415;国家重点研发计划2016YFB0402705;声学所青年英才计划QYNC201616

在线出版日期：2018-02-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19