新型表面波电流传感器优化设计

摘要：

本文对结合磁致伸缩效应的新型声表面波电流传感器进行优化设计.传感器采用80 MHz声表面波双通道延迟线型差分振荡器,并在传感通道SAW器件表面声传播路径上溅射磁致伸缩薄膜,利用薄膜材料在电流激发磁场作用产生的磁致伸缩效应引起声传播速度的变化,并以相应振荡器频率的变化来表征待测电流.通过对不同磁致伸缩材料(FeCo和FeNi)以及薄膜厚度的传感效应进行分析,用以为传感器的优化设计提供思路,并通过实验进行验证,实验结果显示,相对于FeCo而言,采用FeNi作为敏感材料的电流传感器具有良好的重现性、线性度以及较高的灵敏度.

关键词：声表面波、电流传感器、磁致伸缩效应、铁钴、铁镍

所属期刊栏目：36

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家电网公司总部科技项目DG71-15-038;国家自然科学基金资助项目11374254

在线出版日期：2017-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：389-394