10.11684/j.issn.1000-310X.2014.03.010
超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究
为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则排列到超声作用后形成二维网格状排列的运动过程,网格化控制机理,并建立了二维运动方程.计算机仿真结果与实验结果一致,表明应用超声驻波进行网格化微纳加工设想是可行的.
正交超声驻波、粒子控制、多晶硅、网格化微加工
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TB559(声学工程)
国家自然科学基金项目51175134;浙江省自然科学基金项目Y1100335;浙江省科技厅公益性项目2010c31058;杭州电子科技大学机械工程学院优硕论文基金项目JX13LW06
2016-09-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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258-263