声表面波气体传感器研究进展

摘要：

基于声表面波技术的气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式.比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,适应小型化毒气报警器的发展要求,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题；声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析.本文从传感器响应机理分析与物理功能结构两方面出发介绍了两类声表面波气体传感器的研究进展情况.

关键词：声表面波、气体传感器、敏感膜、气相色谱、灵敏度

所属期刊栏目：32

分类号：O429(声学)

资助基金：国家自然科学基金重点项目10834010;面上项目11074268;863课题2006AA06Z413

在线出版日期：2016-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：252-262