基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究

摘要：

基于氧化锌(ZnO)作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器(HBAR),采用不同电极材料和溅射方法进行优化.优化选定镀铬-金/氧化锌/铬-金/蓝宝石结构.对制备的器件进行了测试分析,结果显示,具有多模谐振特性的HBAR器件在2.87 GHz Q值达到43000.根据一维Mason等效电路模型,HBAR器件还进行了理论仿真,结果表明理论结果与实测值基本一致.

关键词：体声波谐振器、Q值、ZnO薄膜、Mason模型

所属期刊栏目：32

分类号：TN64(电子元件、组件)

在线出版日期：2016-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：212-216