表面声波传感器及其应用

摘要：

本文简要介绍多种表面声波传感器的结构、特点、应用及其研究进展概况.表面声波传感器依其波型分类,主要包括瑞利波、水平切变声板波、乐甫波和兰姆波传感器;其应用领域根据作用特点大致可分为物理传感器和化学、生物传感器,前者较易实现,后者特异性强,需要针对具体情况作更细致研究.由于表面声波的传播速度和相位对周围环境的参量变化极为敏感,因此有关传感器具有很高的灵敏度和广泛的应用领域.

关键词：表面声波、传感器、压电材料和器件

所属期刊栏目：27

分类号：TP2;TK2

资助基金：国家自然科学基金委员会资助项目10774074

在线出版日期：2009-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：413-418