10.3969/j.issn.1000-310X.2008.04.010
ST-X石英基片上铬栅阵中单根栅条反射系数实验研究
精确的栅条反射系数对于声表面波器件的设计至关重要.本文利用网络分析仪的时域功能,采用短脉冲方法实验研究了ST-X石英基片上铬栅阵中单根栅条的反射系数.并推导出计算反射系数的公式.实验测量了不同铬膜厚度条件下单根指条的反射系数,再对实验结果作最小方差法拟合,得到反射系数随铬膜厚度变化的表达式,即反射系数中压电短路贡献和铬的力学负载贡献之和.最后将实验结果与采用有限元方法计算的理论结果比较,发现两者基本吻合.
反射系数、栅条、短脉冲法
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TN7;TN6
2008-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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