10.3969/j.issn.1000-310X.2006.04.001
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述.圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%.
硅微传声器、圆形振动膜、压电薄膜、ZnO
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O4(物理学)
国家自然科学基金10204021;国家自然科学基金90207003
2006-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
197-200