以有效值计算的热声键合PZT换能器阻抗分析

摘要：

在热超声芯片键合过程中,PZT换能器阻抗是键合系统的一个重要的研究参数.本文在提取PZT换能器驱动电信号实部数据的前提下,采用连续加窗的有效统计值计算的广义阻抗表征整个键合周期内的PZT换能器阻抗变化,由此获得键合过程PZT换能器阻抗的动态变化规律.文中详细介绍了PZT换能器阻抗的试验方法,并分析了试验结果.

关键词：换能器阻抗、有效值统计、热超声芯片键合工艺

所属期刊栏目：24

分类号：O429(声学)

资助基金：国家自然科学基金50390064;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716202

在线出版日期：2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：216-220