宏微双级驱动精密定位平台的建模与控制

摘要：

为实现定位系统在大行程中高精度定位,设计了一种宏微双级驱动精密定位平台.采用金属波纹管直接驱动宏动平台,实现了系统大行程进给.安装在宏动平台上的音圈电机驱动微动平台,补偿宏动平台产生的误差并实现系统的高精度定位.采用双光栅检测方案,增量式光栅反馈宏动平台的位置信号,绝对式高精度光栅反馈微动平台的位置信号,实现二级精密驱动定位系统的全闭环控制设计.分别对宏动平台和微动平台建立数学模型,提出宏动平台带前馈的PID闭环控制和微动平台的神经网络PID复合控制方案.实验结果表明:该定位系统能满足大行程高精度的定位要求,在50mm的行程中重复定位精度能达到0.6μm.

关键词：双级驱动、精密定位、建模、波纹管、音圈电机

所属期刊栏目：37

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：山东省高校科技攻关项目J14LN26

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63