现代气动技术理论与实践第七讲:电/气伺服阀

摘要：

@@ 0 前言
由于伺服电动机、步进电动机等电气伺服驱动机构在工业现场的日益普及,气动伺服系统通常仅限于在高湿度、强磁场、要求防爆等恶劣环境下使用.近些年,由于空气的柔软性以及使用中不产生热和磁场等优点被重新认识,半导体精密制造中光刻机用的减振台、医疗仪器、康复设备上开始出现气动伺服系统的身影,并有逐步扩大的趋势.

机标关键词：气动伺服系统、技术理论、实践、伺服电动机、步进电动机、重新认识、医疗仪器、驱动机构、康复设备、精密制造、恶劣环境、电气伺服、强磁场、柔软性、减振台、光刻机、高湿度、半导体、现场、生热

所属期刊栏目：28

分类号：TH138

在线出版日期：2008-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53