等离子体技术在多晶硅还原炉的应用

摘要：

针对内蒙多晶硅项目,在等离子体发生器对还原炉内部进行加热的条件下,对炉内温度场进行了试验测试,同时采用FLUENT 软件对其进行了数值模拟.理论和计算的综合结果表明,等离子体加热技术在多晶硅还原炉中有着良好的加热应用效果.与同类型加热设备卤素灯相比,等离子发生器不仅加热效率高且运行成本相对较低,具有良好的应用前景.

关键词：多晶硅、等离子体发生器、等离子体加热

分类号：TK229.1(蒸汽动力工程)

在线出版日期：2010-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7