薄膜-基体型磁致伸缩微致动器的数值模拟

摘要：

磁致伸缩薄膜是一种性能优异的微驱动元件.本文针对磁致伸缩薄膜-基体结构中薄膜磁致伸缩系数与层合结构变形之间关系的问题,从经典层合板理论的角度导出了其基本方程,并在此基础上对基体远厚于薄膜的情形采用非层合板理论进行了简化.通过比较非层合板理论和层合板理论下的薄膜-基体结构变形的有限元结果,讨论了有关几何参数和物理参数的影响,给出了用非层合板理论近似处理薄膜-基体型磁致伸缩微致动器的适用条件.

关键词：磁致伸缩、薄膜、微致动器、有限元

所属期刊栏目：21

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10132010

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45