光斑起始平面对飞秒激光加工SiC/SiC斜孔的影响

摘要：

为了探究光斑起始平面对飞秒激光加工SiC/SiC复合材料斜孔的影响,采用环切法对厚度为4 mm的SiC/SiC厚板进行?1.5 mm斜孔加工试验,重点分析光斑起始平面对斜孔入口形貌、人口直径及锥度的影响.结果表明,光斑起始平面处于人口上沿导致加工深度增大,光束对孔内扫描时间增加,孔内材料去除量增多,导致入口孔径变大、锥度变小.对于斜孔加工,产物容易从入口下沿排出,从而造成入口下沿边缘有熔渣沉积现象.45.斜孔在入口下沿处出现崩边现象,其形成与加工产物喷射排出方向及强度有关.斜孔两侧侧壁斜度随斜孔角度的变化而变化.研究可为今后SiC/SiC复材飞秒激光高质量斜孔加工提供参考.

关键词：飞秒激光、SiC/SiC复合材料、斜孔加工、光斑初始平面

所属期刊栏目：42

分类号：TB333(工程材料学)

资助基金：国家科技重大专项2017-VII-0015-0111

在线出版日期：2023-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：50-56