金纳米阵列诱导表面等离子体微刻蚀试验分析

摘要：

通过麦克斯韦方程组推导了等离子体激发的条件,随后根据表面等离激元在亚波长孔周期阵列中增强光传输的原理制备金属-介质-金属(MIM)型周期性孔阵列薄膜,这种薄膜结构可补充入射光与等离子体基元间的动量失衡,进而在金属表面成功实现表面等离子体的激发.最后利用所制备的MIM型周期性孔阵列结构进行激光微纳加工试验,探索其在激光微纳加工中的作用.选择单晶硅作为激光微纳加工的对象,试验结果表明,这种薄膜结构可通过诱导激发等离子体实现材料的去除,在硅片的表面制备出大范围的微孔结构.

关键词：金属-介质-金属型结构、等离子体激发、透射增强、周期性孔阵列、多孔阳极氧化铝、激光扫描

所属期刊栏目：42

分类号：O441(电磁学、电动力学)

资助基金：天津市自然科学基金;天津市教委科研基金

在线出版日期：2023-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：74-81