基于激光干涉仪的铣床导轨几何误差预测验证

摘要：

为达到更精确预测机床导轨几何误差的目的,设计一种建立在公差基础上的几何误差预测方法,并构建表面形貌误差和几何误差的映射关系.采样双频激光干涉仪具有高精度、快速响应以及高分辨率的优势,充分满足高精度位移测试的需求.以等距方式对X轴导轨行程设置了 37个测量点,滑板到达各测量位置时分别经过6 s停留完成采样过程,仿真结果的圆形标记位置拟合曲线R2参数可以达到理想的拟合精度.实际测量数据与预测结果间存在0.15μm的差值,相对于几何误差测试结果,大部分残差都很小,最大残差被控制在测量结果10％以内.实验结果验证采用该方法能够满足以公差为依据的机床导轨几何误差准确预测.该研究对提高机床精度具有很好的理论指导意义,易于实际推广应用.

关键词：机床导轨、激光干涉仪、几何误差、公差、试验验证

所属期刊栏目：42

分类号：TH161

资助基金：河南省高等学校重点科研项目18A460018

在线出版日期：2022-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：79-83