射频激励扩散冷却板条CO2激光器技术发展

摘要：

扩散冷却、射频激励的板条结构CO2激光器具有效率高、体积小和光束质量好的优势,在激光精密退火、工业加工等应用领域越来越被重视.高功率射频激励、扩散冷却板条CO2激光器在千瓦级及以上的CO2激光精密加工及微电子装备中占有重要地位,已成为高功率、高光束质量连续CO2激光器的主流发展方向.就CO2激光器技术发展,重点围绕射频驱动板条结构高功率CO2激光器技术的国内外研究动态进行了调研,梳理了技术发展阶段及应用情况,并对技术发展趋势进行了展望.

关键词：板条CO2激光器、射频激励、扩散冷却、高功率

所属期刊栏目：42

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海张江国家自主创新示范区专项ZJ2020-ZD-006

在线出版日期：2022-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：108-116