基于MEMS高速光学扫描系统

摘要：

设计了一种高速实时成像的激光雷达.这种新的高速扫描激光雷达系统由准直激光器、一维微电子机械系统(MEMS)振镜、反射镜、驱动电机和接收探测器组成,其核心器件是基于MEMS的微扫描反射镜.该MEMS微扫描器激光雷达系统具有高精度、低成本、高速度和三维实时成像等优点.

关键词：激光雷达、一维微电子机械系统、微振镜扫描、高速

所属期刊栏目：41

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市科学技术委员会科研计划项目19511108600

在线出版日期：2021-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：391-394