基于正交试验和ε-SVR的激光铣削微锥体误差预测

摘要：

本文采用纳秒脉冲激光铣削方法对尺寸小于1 000μm,特征尺寸小于100 μm的微锥体进行加工,激光铣削过程中脉冲激光与材料相互作用复杂,因此加工结果难以预测.本文首次以微圆锥的形状误差为预测目标,包括锥角误差(ATa)、直径误差(TDS)和对称性误差(ES),首先采用正交试验对显著影响加工结果的参数进行选择,然后利用采用不敏感损失函数的支持向量回归机(ε-SVR)建立激光微烧蚀加工预测模型,并且根据参数对预测结果的影响对参数进行择优选取,实验结果表明,较优参数的ε-SVR模型预测得到ATα=3.8°,TDS=5.35 μm,Es=1.15μm.因此,ε-SVR适用于激光铣削加工微锥的误差预测,并对激光铣削加工其他微三维结构提供了参考.

关键词：激光铣削、加工预测、支持向量回归、形状误差、微加工

所属期刊栏目：40

分类号：V261.8(航空制造工艺)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点课题;中央高校项目;中央高校项目

在线出版日期：2020-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：730-734