飞秒激光叩击式微孔加工的实验研究

摘要：

飞秒激光加工技术是一种新型的材料微加工技术,该技术在航空航天、生物医疗、电子制造等领域有广泛的应用前景.飞秒激光微孔加工技术可以用于航空发动机气膜冷却孔和无痛注射微针等的加工.但是加工质量和效率是制约该技术广泛应用的主要因素.实验研究了Burst模式和单脉冲模式条件下、不同脉冲能量时的微孔加工效果,并观察了孔的微观形貌.结果 表明,增加能量对提高孔的大小和深度有利,但不利于提高孔的圆度;相比单脉冲模式,Burst模式下,增加Burst内脉冲数,孔变小变浅,且圆度变差;孔内壁上有出现亚微米波纹结构,波纹上有纳米颗粒,而孔口边缘出现烧蚀沉积.

关键词：飞秒激光、微孔加工、Burst模式、孔的质量

所属期刊栏目：39

分类号：TH162

在线出版日期：2020-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：980-986