515nm皮秒激光环切加工微孔实验研究

摘要：

为解决毫/纳秒激光加工微孔质量差的问题,利用515 nm皮秒激光对厚度为0.1 mm的不锈钢进行环切法加工直径100μm的微孔实验.采用激光共聚焦显微镜对加工后形貌和质量进行观察与表征,研究激光能量密度、扫描速度和离焦量等因素对加工后微孔形貌与质量的影响规律.实验结果表明,能量密度对微孔内壁质量有直接的影响,在保证去除能力前提下,控制能量密度在6.45 J/cm2以下,可有效减小微孔内壁的热影响区.同时实验还发现,适当增加扫描速度能够改善环切加工微孔切口和内壁的质量.在激光能量密度6.45 J/cm2、扫描速度200 mm/s时,孔锥度为2.72..随着扫描速度的增大,锥度减小,最后稳定在2.29.左右,正离焦加工也能一定程度上减小孔的锥度.此研究结果表明,优化工艺参数能够加工出热影响区小、边缘质量好且锥度小的微孔.

关键词：皮秒激光、微孔加工、能量密度、扫描速度、离焦量

所属期刊栏目：39

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51175237

在线出版日期：2019-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：285-290